广州潽拓光电科技有限公司——瓦里安分子泵

溅射离子泵无油超高真空系统。此系统是获得清洁超高真空的主要手段，可以获得10-9Pa的真空度，一般由溅射离子泵、钛升华泵与分子筛吸附泵或者是与涡旋泵、液氮阱等共同组成，可以获得清洁的无油超高真空系统。由于溅射离子泵的启动压力在1Pa以下，而且对有机蒸汽敏感，因此在使用时需要对其进行*底的烘烤除气，并用预抽泵抽走烘烤释放出的气体。

  在安装泵之前，应在进气口和出气口打开的情况下检查电机旋转方向。从电机端看，驱动轴应逆时针旋转。注意电机或外壳上指示旋转方向的箭头。如果电机转向错误，可以通过在电机连接端子块上互换两相来纠正。

  电机功率、转速是和真空泵相匹配的，不能更改。风扇安装于电机主轴上，电机转速决定了风扇转速，也不可更换。增加风扇叶片数量虽能起到一定作用，但叶片数量增加后，动平衡不容易找，如找正不好，会引起电机振动增加

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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8、在真空镀膜生产设备设计之初，开*者总是需要思考如何在商业成本和技术的需要之间寻找一个平衡点。如果真空技术在设计之初没有被充分考虑进去的话，那么在后期的开发中将会出现一些问题。导致对现有系统的后续纠正措施无法落地，并且会带来计划外的成本。我们的专*将为您提供在镀膜机中正确集成真空设备切实可行的办法。 高真空分子泵维修

Turbo-V 1001 Navigator 一体式控制器专为操作 Turbo-V 1001 涡轮分子泵而设计。一体式控制器安装在涡轮分子泵底部或旁边，可以控制泵的参数和相关附件，如放空阀或冷却风扇。 高真空分子泵维修

Turbo-V 1001 Navigator 能够在电压下运行，还可使用 Agilent A-Plus 软件进行远程操作，或者通过模拟或串行接口集成到现有系统中。 高真空分子泵维修

紧凑的一体式安装设计便于集成

可使用 Vacuum Link 应用程序通过手机实现对泵的全*控制

RS232/RS485 通信协议（和可选的 Profibus 接口）便于数据管理

使用 A-plus 软件进行远程控制，可实现泵的运行、控制和系统参数的记录

放空阀和冷却风扇驱动可提供全*的真空系统控制

通用电压 (100–240 V)，可满足世界各地的运行要求

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随着真空应用技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求，因此选用不同类型真空泵组成的真空机组进行抽气的情况较多下面简单介绍一下真空泵的种类。气体传输泵基本上有两种类型：变容真空泵和动力传输泵。气体捕集泵主要有吸附泵、吸气剂泵和吸气剂离子泵。进口真空泵维修

而我们会常用到的中高真空罗茨真空泵(机械增压泵)，为了保证真空度与抽气效率，不会采用上述的改变。如强行直排大气，会造成罗茨真空泵的吸气口与排气口压差太大，从而使罗茨真空泵过载，无法工作。此时，如果加大罗茨真空泵电机功率，热量增加，则会造成罗茨真空泵转子过热无法散去，而壳体散热较快，之间形成高温差，以致于罗茨真空泵转子热膨胀加速，它们之间以及与泵腔的间隙消失，进而卡死。进口真空泵维修

复合式分子泵是涡轮分子泵与牵引分子泵的串联组合，集两种泵的优点于一体。泵在很宽的压力范围内 ((10-6 ~ 1Pa) 具有较大的抽速和较高的压缩比，大大提高了泵的出口压力。进口真空泵维修

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